护性覆盖物或表面平坦化的作用。据Gartner统计,2020年全球管式CVD设备市场空间14亿美元,在各类薄膜设备中占比约10%,已逐渐被应用更广的等离子体和原子层沉积技术超过。日本半导体设备厂商东京电子和同业国际电气(KokusaiElectric,已被应用材料收购)在全球管式CVD设备市场中分别占据46%和51%的份额。
护性覆盖物或表面平坦化的作用。据Gartner统计,2020年全球管式CVD设备市场空间14亿美元,在各类薄膜设备中占比约10%,已逐渐被应用更广的等离子体和原子层沉积技术超过。日本半导体设备厂商东京电子和同业国际电气(KokusaiElectric,已被应用材料收购)在全球管式CVD设备市场中分别占据46%和51%的份额。