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咨询大家至纯科技湿法设备简介的概念是怎样的?
2023-08-15
先进制造 | 行业数据
目前至纯科技主要生产湿法清洗设备，提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8-12反应腔），均可以覆盖8-12寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3DFlash）、先进逻辑产品以及一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。
半导体装备机械
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