第五,保护掩模板。在193nm液浸式光刻机中,掩模版由一层被薄膜(即护膜)保护着,这层薄膜距离掩模版有一点悬空的距离,像保鲜膜一样紧绷在上方,其作用在于当灰尘落在护膜上时影响聚焦而不能在晶圆上形成图案,因此不会损坏整个晶圆。但193nm的护膜不适用于13.5nm的光,EUV会损坏护膜,若不使用护膜则很可能是最终良率为0。所以解决这个难题的关键在于研究制造出能够抵抗EUV破坏的护膜。
第五,保护掩模板。在193nm液浸式光刻机中,掩模版由一层被薄膜(即护膜)保护着,这层薄膜距离掩模版有一点悬空的距离,像保鲜膜一样紧绷在上方,其作用在于当灰尘落在护膜上时影响聚焦而不能在晶圆上形成图案,因此不会损坏整个晶圆。但193nm的护膜不适用于13.5nm的光,EUV会损坏护膜,若不使用护膜则很可能是最终良率为0。所以解决这个难题的关键在于研究制造出能够抵抗EUV破坏的护膜。